本文標題："制作的繞射式元件所量測焦距的方式-光學常識"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-6 10:8:14

制作的繞射式元件所量測焦距的方式-光學常識

預知并了解所設計的元件的特性。

對于使用 BOE 溶液來蝕刻石英，其目的是要將經由活性離子蝕

刻后的灰階微透鏡之石英，使其表面的形狀緩和，若在 BOE 溶液中

浸泡太久會有側向蝕刻的情況產生，會造成元件表面的圖形走樣而

使得元件的特性改變，因此在浸泡 BOE 溶液時，時間需要拿捏在幾

秒中就可以達到讓 3D 元件的表面緩和并不會破壞元件的圖形，而

影響其繞射效果。

對于之前制作的繞射式元件所量測焦距的方式有：杜曼-格林干涉

法和云紋干涉法兩種，對于長焦距的灰階微透鏡而言，使用這兩種

的量測方式誤差范圍大約在 2%左右，但對短焦距的八階微透鏡而

言，目前只能用云紋干涉法來量測，也因元件的尺寸太小造成在元

件尺寸內的條紋數過少，因此對焦距的量測上會有 40%的大幅度誤

差，其解決的方案是在增加八階微透鏡移動的距離時，使量測之單

位長度條紋數改變量增加，以提高焦距量測的精確度

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