本文標題："樣品表面間斷接觸式計量工具顯微鏡-樣品檢測"
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樣品表面間斷接觸式計量工具顯微鏡-樣品檢測
間斷接觸式原子力顯微鏡
間斷接觸式原子力顯微鏡被開發(fā)作為不會產(chǎn)生破壞性的摩擦力而得到高分辨
率的測量方法。當懸臂掃描樣品表面時，其以共振頻率振動。探針逐漸接近樣品
表面直到間斷地接觸到樣品表面。探針與樣品的接觸導致振幅減小。一旦探針接
觸到樣品表面，共振振幅數(shù)值與探針到樣品的平均距離成正比。如果探針與樣品
間的平均距離為lOnm，共振振幅峰值間的距離大約為20nm。
水平共振設置在
自由空氣振幅的下面，并且通過反饋系統(tǒng)調(diào)整懸臂與樣品間距，當探針通過樣品
表面掃描光柵時，使振幅保持一常數(shù)。因為探針只是與樣品間斷接觸，探針施加
在樣品上的摩擦力可忽略不計，并且損害性的側(cè)向力也能被消除。振動振幅可設
置足夠大(10～lOOnm)，當探針接觸到表面時，懸臂有足夠的回復力(因為懸
臂的彎曲)防止探針在污染層被彎液面力或靜電力擋住。
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