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本文標(biāo)題:"表面結(jié)構(gòu)的高度測(cè)量多功能萬能工具顯微鏡"

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表面結(jié)構(gòu)的高度測(cè)量多功能萬能工具顯微鏡

 
已經(jīng)有許多試圖分離粗糙度和波度的使用方法的建議
,最行之有效的建議就像英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)中那樣;有切削工
具所產(chǎn)生的加工紋路為粗糙度,而那些由于導(dǎo)軌誤差
、振動(dòng)等所引起的振紋屬于波度。
 
    現(xiàn)一般確認(rèn)給出與波長(zhǎng)信息有關(guān)的函數(shù)是表面的
自相關(guān)函數(shù)或功率譜,但是調(diào)研結(jié)果表明,用廉價(jià)的
儀器不能輕易測(cè)得這個(gè)參數(shù)。
 
    要控制表面的功能特性,以至當(dāng)涉及制造工藝的
時(shí)候,只憑表面結(jié)構(gòu)的高度測(cè)量是不充分的,這一點(diǎn)
幾乎沒有疑問,平均波長(zhǎng)參數(shù)引出了一個(gè)附加的控制
參量,這個(gè)參數(shù)取決于形成表面的波長(zhǎng),更確切地說
,它取決于他們的相對(duì)幅度。用比較廉價(jià)的儀器可以
方便地獲得這個(gè)附加的參數(shù)。
 

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