本文標題："光學輪廓儀型號及精度-電動測量工具顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-11-11 17:26:29

光學輪廓儀型號及精度-電動測量工具顯微鏡

共焦顯微鏡共焦顯微鏡是商用化最成功的一個光學聚集傳

感系統，最早用來進行生物樣品的檢測，在工程表面的測量上也

得到了應用。

干涉型光學輪廓儀

（1）雙波長和多波長干涉測量最早的干涉型光學輪廓儀使用的

是單色光照明，同時使用了相移技術。使用相移技術獲得最高測量

粘度，但是單色照明卻限制了測量的范圍。為了能夠擴大測量范圍

。進一步發展了雙波長和多波長技術。如今雙波長和多波長干涉測

量原理還在全息和散斑技術是使用，用來測量大口徑元件，其間用

到了條紋投影和結構光技術。

（2）白光干涉測量白光干涉測量系統早已確立為用于工程表

面測量的主導學輪廓儀。白光干涉測量可以看做一種光學聚焦傳感

器。干涉信號的位置確定了最佳焦點，這類設備的典型結構是由一

個傳統的顯微鏡配備一個干涉物鏡組成，這種干涉測量技術上比其

他光學和探針輪廓技術而言，其優勢在于進行會場掃描而非點到點

的掃描。由于整個面積的成像是同時完成的，橫向掃描變得不再必

要，這也極大地提高了測量速度。

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