本文標題："光學量測原理顯微鏡測量微型元件三維曲面輪廓"

光學量測原理顯微鏡測量微型元件三維曲面輪廓

應用條紋投射法與三角攝影量測原理測量微型元件三維曲面輪廓。

藉由液晶投影機投射格雷氏編碼與馀弦亮度分佈之結構光至微型物件表面，

經攝影機采集影像并經亮度線性校正后，可由此兩者還
原出絕對相位。以映射函數法完成量測系統校正后，
即可將待測物的絕對相位轉換為精確的輪廓高度。使
用立體顯微鏡 2X 放大率時，量測范圍為 4 ×3 mm，
其輪廓量測誤差標準差約為 5μ m；若使用 16X 放大
率時，其量測范圍約為 500 ×375μ m，其輪廓量測誤
差標準差約為 0.6μ m。

關鍵詞：三角量測法、格雷氏編碼、相位移、映射函數

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